KOFLOC科赋乐 RK1400-20-SS-1 流量计
标准规格
传感器 热式绕组传感器
阀门 电磁比例阀（断电时 关闭）
对象气体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等
流量范围（N2换算） 10SCCM～20SLM
控制范围 2～100%F.S.
响应性 2sec以内（within±2%F.S.）
精度 ±1%F.S.（25℃）
温度系数 ±0.1%F.S./℃（15～35℃）
展开剩余61%重现性 ±0.5%F.S.
动作压差 F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa
入口最大圧・耐圧 500kPa(G)
耐圧 1MPa(G)
He泄漏率 1×10-8Pa・m3/sec以下
允许环境温度 5～45℃
允许保存温度 -10～60℃
允许周围湿度 10～90%RH（未出现冷凝）
与气体接触的材质 SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR)
電気接続 D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard）
模拟流量设定信号 0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω）
模拟流量输出信号 0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下）
电源 +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA
or 24VDC（±10%）450mA
外部尺寸 宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头)
接头（本体口径） 标准：1/4SWL、可选：1/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF）
重量 约1,000g
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